[实用新型]一种检测硅片稳压装置

摘要

本实用新型公开了一种检测硅片稳压装置，包括储气罐，所述储气罐的侧壁上设有与其连通的进气阀，所述储气罐的前侧壁上设有与其固定连接的固定块，所述固定块的上侧设有与其固定连接的挡板，所述挡板水平方向的侧壁上对称设有通孔，所述通孔中插设有插杆，所述插杆上对称套设有限位板，所述限位板的后侧对称开设有多个T形孔，所述T形孔与通孔连通，所述T形孔中插设有U形架，所述U形架上开设有限位孔，所述插杆穿过限位板上的T形孔和U形架上的限位孔。本实用新型硅片检测装置技术领域，在检验机的进气端增加供气罐，通过加设供气罐保证进检验机的压力是稳定的，解决压力不稳定导致检验机检测异常的情况，保证硅片的正常检测。