[实用新型]一种真空蒸镀机的点源加热装置有效
| 申请号： | 201922239813.7 | 申请日： | 2019-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN211771523U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 史延锋 | 申请（专利权）人： | 苏州盟萤电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空蒸镀机的点源加热装置，包括坩埚盖，坩埚喷嘴，坩埚体和喷嘴，所述坩埚喷嘴的上端连接坩埚盖，所述坩埚喷嘴的下端连接坩埚体，所述坩埚体插入喷嘴内侧壁，所述坩埚盖内侧采用多层钽片叠加的结构，本实用新型的真空蒸镀机的点源加热装置通过改变喷嘴及中板的结构来改善点源加热性能，从而提升加热源内部蒸汽压的均一性，提高了产品生产良率，为企业节省了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 蒸镀机 加热 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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