[实用新型]一种圆环形单晶硅棒的加工装置有效
| 申请号： | 201922204595.3 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN211389602U | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 蔡明;李亚光;袁伟龙;刘丰;纪新鹏 | 申请（专利权）人： | 山东有研半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青 |
| 地址： | 253012 山东省德州市经济技术开发区袁桥*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种圆环形单晶硅棒的加工装置。该装置包括刀具、底部支撑机构、单晶固定装置；所述单晶棒固定装置设置在底部支撑机构上，单晶固定装置包括多个卡爪，多个卡爪固定单晶棒，在每个卡爪与单晶棒侧壁之间设有卡爪垫块；刀具设置在单晶棒固定装置的上方，对准单晶棒上端面；在单晶棒与底部支撑机构之间设有石墨垫板。所述卡爪的数量为3个，对称分布在单晶棒周围。本实用新型的圆环形单晶硅棒的加工装置能够解决进刀量的问题，避免刀具磨损，保证单晶产品的完整度，使之不会出现崩边现象，从而有效的降低了产品的崩边率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆环 单晶硅 加工 装置 | ||
【主权项】：
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