[实用新型]一种薄膜晶体管有效
| 申请号： | 201922204423.6 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN211265487U | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 刘荣跃;丁庆;王鑫 | 申请（专利权）人： | 深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司;华讯方舟科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/06;H01L29/24;H01L21/34 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 胡鹏飞 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请属于半导体器件技术领域，提供了一种薄膜晶体管，通过采用费米能级不同的第一有源层和第二有源层组成有源层，并在第一有源层的上表面上设有多个间隔设置的第一有源层凸起，从而在第二有源层和第一有源层之间形成波纹异质结，不仅减少了非晶IGZO薄膜晶体管的漏电流，而且还提高非晶IGZO薄膜晶体管的开关比，解决了现有的IGZO薄膜晶体管由于电迁移率和输出电流较低，无法满足新的需求的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 | ||
【主权项】：
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