[实用新型]一种退火设备

摘要

本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域，具体公开一种退火设备。该退火设备包括退火腔室、冷却机构和电极机构，退火腔室用于放置硅片组，硅片组包括叠垛的多个待退火硅片，冷却机构包括设置于退火腔室内的恒温箱，恒温箱的四周壁为中空结构，恒温箱的四周壁内盛放有冷却液，硅片组位于恒温箱内，电极机构包括分别设置于退火腔室内顶面的上电极板和位于恒温箱内底面的下电极板，上电极板能够与硅片组中位于最上层的待退火硅片的表面相抵接，下电极板能够与硅片组中位于最下层的待退火硅片的表面相抵接。通过设置冷却机构，用于在硅片组的周向散热，保证硅片组的温度保持均匀，退火效果较好，且能够适应于需要大电流低温度工艺的硅片的退火处理。