[实用新型]气体分配管路系统及气体分配阀箱有效
| 申请号： | 201922147379.X | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN211450364U | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 陈玲丽;闫梦晗 | 申请（专利权）人： | 华润微电子（重庆）有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/04 | 分类号： | F17D1/04;F17D3/01 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 佟婷婷 |
| 地址： | 401331 重庆市*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种气体分配管路系统及气体分配阀箱，气体分配管路系统包括：主管路及若干条用气管路，主管路向各用气管路中输送制程气体；氮气吹扫管路，与各所述用气管路相连通；抽负压单元，与各用气管路均相连通，用于对各用气管路进行抽负压。本实用新型的气体分配管路系统及气体分配阀箱，通过氮气吹扫管路及抽负压单元，通过多次氮气吹扫及抽负压达到将管路中气体抽净功能，特别是将有毒有害气体抽净，另外，扩充口管路增设压力监控，可根据压力表显示值评估拆装风险。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 分配 管路 系统 分配阀 | ||
【主权项】：
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