[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201922130300.2 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN211184239U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 闻永祥;孙福河;刘琛;金文超;孙文良 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰集成电路有限公司;杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 公开了一种MEMS麦克风。包括在硅衬底上依次形成的第一隔离层、膜片和第二隔离层；在第二隔离层上依次形成的第一保护层、背极板电极和第二保护层；贯穿第一保护层、背极板电极和第二保护层的释放孔；贯穿第二隔离层并与释放孔连通的空腔；贯穿硅衬底和第一隔离层的声腔；至少覆盖在膜片的暴露表面上的单分子层有机膜，第一隔离层的表面上包括至少一个凹槽，膜片共形地覆盖在第一隔离层的表面上并在凹槽的位置处设置弹簧结构，膜片彼此相对的第一表面和第二表面通过空腔和声腔暴露。本实用新型采用第一保护层和第二保护层保护背极板电极使得背极板电极不被腐蚀，且在膜片的暴露表面形成单分子层有机膜，提高了器件的性能和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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