[实用新型]一种便于清洁的半导体制造设备

摘要

本实用新型公开了一种便于清洁的半导体制造设备，属于半导体制造技术领域，包括底座，所述底座的上表面固定安装有刻蚀槽，刻蚀槽内部设置有两个耐腐蚀滤框，耐腐蚀滤框穿过刻蚀槽上表面开设的插孔延伸出刻蚀槽，耐腐蚀滤框的外表面固定安装有限位块；通过设置螺柱、活动板、滑杆、刮环和刮板，利用螺柱的转动带动活动板向上或向下运动，进而通过滑杆带动刮环向上或向下运动，进而对刻蚀槽的内侧壁进行清理，同时刮板跟随转轴a同步转动对刻蚀槽内侧壁的下表面进行清理，进而可以对刻蚀槽内侧壁进行全方位清洁，同时利用耐腐蚀滤框来盛放半导体器件，避免刻蚀产生的较大的杂质调入到刻蚀槽内，结构简单，操作方便。