[实用新型]溅射靶材、银反射膜有效
| 申请号： | 201922115469.0 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN211689223U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 翟怀伦;尹铮杰;赵锦玲;颜毓雷;王明辉;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 宁波瑞凌新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 储照良 |
| 地址： | 315000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种溅射靶材、银反射膜，所述溅射靶材包括纯银中间段，所述纯银中间段的首端设置有预设长度的第一银合金段，所述纯银中间段的尾端设置有预设长度的第二银合金段。所述溅射靶材在靶材靠近两端位置使用预设长度的银合金来代替原有的纯银材质，使得在使用该溅射靶材进行磁控溅射镀银反射膜时，能保证银反射膜的边缘位置恰好为银合金材质，所以，不仅能够解决银反射膜的黄边老化问题，还能节约银反射膜的制作成本。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 反射 | ||
【主权项】：
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