[实用新型]分体式多工序真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201922078018.4 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN210886217U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 陈自新;郑立冬;朱海锋;张艺馨;李伟 | 申请（专利权）人： | 无锡光润真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 朱晓林 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及卷绕镀膜技术领域,公开了分体式多工序真空镀膜装置，包括第一室体、第二室体和第三室体，第一室体、第二室体和第三室体共同构成镀膜室，第一室体和第三室体分别设置在第二室体两侧且均可移动。解决的问题是现有技术中，缺少将多种复杂镀膜工序集成的镀膜设备，导致要实现不同镀膜，只能转换镀膜设备，由于转换的过程中，未完成的膜层暴露在空气中，影响后续的镀膜质量。本实用新型将不同的镀膜工序集成一个镀膜室内完成，可一次性的、连续的对材料进行不同的镀膜工序，没有转换设备的工作，膜层始终在真空环境下，避免了转换镀膜设备时膜层暴露在空气中对涂层的不利影响，保证了镀膜的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 体式 工序 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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