[实用新型]一种线性蒸发舟有效
| 申请号： | 201922075061.5 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN211445877U | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 彭建;田琳;夏虎 | 申请（专利权）人： | 北京泰科诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 张天一 |
| 地址： | 102212 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种线性蒸发舟包括蒸发室、进料斗和夹持翼，所述进料斗与所述蒸发室连接且内部空间相通，所述进料斗顶部开设有进料口，所述夹持翼位于所述进料斗外且与所述进料斗连接，所述蒸发室顶部开设线性蒸发窄口，结合线性源和舟型源的优点，提高了材料利用率，蒸镀时配合基片台旋转，提高了镀膜均匀性，蒸发舟由板材直接剪切折弯而成，简化了生产工序，降低了制造成本，同时使蒸发口调节更加简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线性 蒸发 | ||
【主权项】：
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