[实用新型]单晶炉用连接组件及单晶炉有效
申请号: | 201922013505.2 | 申请日: | 2019-11-20 |
公开(公告)号: | CN210886310U | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 王维;胥俊东;常晓鱼;陈辉 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创真空技术有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 韩世虹 |
地址: | 100015 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及光伏领域,公开了一种单晶炉用连接组件及单晶炉。单晶炉用连接组件用于连接副室与旋板阀,包括连接柱、卡盘以及驱动组件;连接柱的一端连接在旋板阀上,连接柱上设置有沿其径向凸出的第一凸台;卡盘卡接在副室上并通过驱动组件与副室连接;卡盘上设置有葫芦孔,葫芦孔包括大孔和小孔,连接柱穿设在葫芦孔内且第一凸台位于葫芦孔的上方,第一凸台的直径小于大孔的内径且大于小孔的内径,当连接柱位于大孔内时,副室与旋板阀脱离;当连接柱位于小孔内时,副室与旋板阀连接。本实用新型提供的单晶炉用连接组件可以大大简化副室与旋板阀的连接、脱离的结构,提高了副室与旋板阀连接、脱离的效率,就能够有效地保证单晶炉的生产效率。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉用 连接 组件 单晶炉 | ||
【主权项】:
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