[实用新型]分体式转盘结构有效
| 申请号: | 201921998498.X | 申请日: | 2019-11-16 |
| 公开(公告)号: | CN211100240U | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
| 发明(设计)人: | 段雄斌;张雨辰;何选民 | 申请(专利权)人: | 深圳市标谱半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | B07C5/342 | 分类号: | B07C5/342;B07C5/02 |
| 代理公司: | 深圳市金笔知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44297 | 代理人: | 胡清方;彭友华 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 一种分体式转盘结构,包括固定旋转部分和可分离旋转部分,固定旋转部分包括安装在电机安装座上的主轴电机,主轴电机通过联轴器与主轴连接,主轴由两个第一轴承设置在主轴固定座上,在主轴上端设有安装转盘;可分离旋转部分包括套筒,套筒通过第二轴承与承载盘固定座连接,在承载盘固定座上设有承载盘,承载盘与转盘下面的真空气孔吸附或释放。本实用新型采用独有的分体式转盘设计,替代了传统的固定连接转盘机构,其特点在于可自动分离待清洁的承载介质,以实现自动清洁的功能或者使人工清洁更便捷。在配合自动清洁装置一起使用时,可提高设备运行稳定性及测试精度,还减少了后期人工及维护成本。 | ||
| 搜索关键词: | 体式 转盘 结构 | ||
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