[实用新型]一种可循环的高频振动清洗机有效
| 申请号： | 201921993513.1 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN211386091U | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 李志卫;张仕俊;石正娟 | 申请（专利权）人： | 苏州新米特电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B11/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可循环的高频振动清洗机，涉及硅片清洗技术领域，其技术方案要点是包括机体，机体内设有超声槽，机体的一侧设有与超声槽连通的排水口，排水口连接有循环装置，还包括过滤桶，所述过滤桶内可拆卸设有用于装载硅片的装载桶，所述装载桶的深度小于过滤桶的深度。过滤桶位于超声槽内，过滤桶和装载桶的开口均朝向超声槽的槽口。本实用新型通过过滤桶过滤粉尘等杂质，使得粉尘等杂质集中在过滤桶内，从而降低粉尘等杂质沉积在超声槽底部的可能性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 循环 高频 振动 清洗 | ||
【主权项】：
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