[实用新型]一种温度控制鼓泡剥离蓝宝石衬底生长的二维材料的装置

摘要

本实用新型公开了一种温度控制鼓泡剥离蓝宝石衬底生长的二维材料的装置，包括恒温水浴仪、自动控制样品剥离器及检测显示仪；本实用新型通过自动控制样品剥离器的综合控制柜操控夹样、夹杯操作臂的移动，通过恒温水浴仪对NH4OH、H2O2的水溶液进行加热，产生气泡，进而从蓝宝石衬底上完整剥离二维材料‑PMMA膜；本实用新型检测显示仪对二维材料‑PMMA膜脱离衬底的过程实施检测显示，确保在剥离过程中二维材料‑PMMA膜的完整性。本实用新型可实现自动剥离二维材料的功能，具有操作简单、经济、效率高、有较好的扩展性等优点。