[实用新型]一种硅片研磨机有效
| 申请号： | 201921911024.7 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN211073139U | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 陆敏 | 申请（专利权）人： | 四川晶美硅业科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B55/03 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 方强 |
| 地址： | 629000 四川省遂宁*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片研磨机，包括底座，底座上设置有至少两根液压杆和至少两根支撑柱，支撑柱上端固定连接固定座，固定座中部设有移动槽，移动槽内部安装有导向块，同一直线上的导向块内部连接第一螺杆，第一螺杆一端与第一旋转板固定连接，导向块上端与移动柱相连，移动柱上端与安装板相连，安装板中部安装有第二螺杆，第二螺杆下端安装有固定板，第二螺杆上端与第二旋转板相连，液压杆上端固定连接安装横梁，安装横梁中部安装电机，电机输出端与转轴相连，转轴下方设置有研磨压头，研磨压头下方设置有水冷盘，水冷盘下方设置有研磨片，研磨片位于固定座中部上方。本实用新型具有能保证研磨精度和适应各种规格的硅片研磨等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 研磨机 | ||
【主权项】：
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