[实用新型]一种扫描电子显微镜的样品转移盒有效
申请号: | 201921890783.X | 申请日: | 2019-11-05 |
公开(公告)号: | CN210668268U | 公开(公告)日: | 2020-06-02 |
发明(设计)人: | 沈经纬 | 申请(专利权)人: | 上海耐默光电技术有限公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20 |
代理公司: | 上海海贝律师事务所 31301 | 代理人: | 范海燕 |
地址: | 201109 上海市闵*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种扫描电子显微镜的样品转移盒,包括带有腔体的壳体、观察舱,所述观察舱滑动设置在壳体内,所述壳体上设置有方便观察观察舱内物品的缺口,所述壳体和观察舱分别为非磁性壳体和非磁性观察舱,所述观察舱内的腔体和壳体内的腔体导通,所述观察舱上设置有单项气阀,所述观察舱上设置有用于壳体和观察舱密封的气密胶圈,所述观察舱和壳体之间设置有非磁性弹性件,所述非磁性弹性件用于将观察舱从壳体内推出且观察舱不离开壳体。本实用新型,通过使用无磁材料制造的样品盒和弹性件,避免了磁性材料对样品的观测结果产生的成像影响,从而利于观测的准确性。 | ||
搜索关键词: | 一种 扫描 电子显微镜 样品 转移 | ||
【主权项】:
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