[实用新型]石墨舟和化学气相沉积设备

摘要

本实用新型提供一种石墨舟和化学气相沉积设备，包括沿第一方向间隔设置的多片舟片，且各舟片的用于接触被加工工件的第一面与第一方向相互垂直，多片舟片在第一方向上划分为内片组和位于该内片组两侧的两组外片组，其中，各外片组包括至少一片舟片，且为外片，内片组包括至少一片舟片，且为内片，并且各外片在第一方向上的厚度大于各内片在第一方向上的厚度。本实用新型提供的石墨舟，其不仅可以减小各舟片上被加工工件之间的温度差异，提高各舟片间的薄膜厚度均匀性，而且可以减少能源浪费，提高产能。