[实用新型]一种卧式背封炉检漏工装有效
| 申请号： | 201921881863.9 | 申请日： | 2019-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN210893543U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 张天鹏;李鲁;乔光辉 | 申请（专利权）人： | 麦斯克电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 陈佳丽 |
| 地址： | 471000 河南省洛*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种卧式背封炉检漏工装，涉及半导体材料生产技术领域，包括用于堵严前炉门的圆形盲板，盲板的底部沿盲板边缘周向开设一环形的密封槽，密封槽内设置密封环，盲板上开设有一个用于放气的放气孔，放气孔具有一凸出于盲板平面的柱形开口，柱形开口由密封组件密封，所述密封组件包括塞入并密封柱形开口的堵头、与堵头固定连接的螺丝、穿设于螺丝上且依次位于堵头上方的压盖及螺帽。本实用新型有益效果：加工工艺简单、价格低廉、操作方便，克服了检漏过程过于繁琐的问题，大大地节省了设备维护时间，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 卧式 背封炉 检漏 工装 | ||
【主权项】：
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