[实用新型]一种支撑盘、气路系统及气相外延生长系统有效
| 申请号： | 201921863804.9 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN210826438U | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 潘华东;卢和源;闵大勇;王俊;廖新胜 | 申请（专利权）人： | 苏州长光华芯光电技术有限公司;苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B25/14;C30B29/40;C30B29/48 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 于妙卓 |
| 地址： | 215163 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及半导体加工装置技术领域，具体涉及一种支撑盘、气路系统及气相外延生长系统。支撑盘包括本体，所述本体上具有中心，所述本体上设有多圈气体接口，任意一圈所述气体接口到所述中心的距离相等，且绕所述中心均匀分布，各圈所述气体接口距离所述中心的距离不同。本实用新型的支撑盘能够保证产品质量，并能够降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 支撑 系统 外延 生长 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州长光华芯光电技术有限公司;苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司，未经苏州长光华芯光电技术有限公司;苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921863804.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种热脱附覆盖保温阻隔系统
- 下一篇：一种在线双卷自动卷毡机
