[实用新型]一种具有凸台结构的背板以及靶材与背板的焊接结构有效
申请号: | 201921838751.5 | 申请日: | 2019-10-29 |
公开(公告)号: | CN211367708U | 公开(公告)日: | 2020-08-28 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;呼雷 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种具有凸台结构的背板以及靶材与背板的焊接结构,所述具有凸台结构的背板焊接面设置有至少两个凸台,通过在背板焊接面设置凸台,利用凸台控制焊接层的厚度与均匀性,克服了常规铺设铜线带来的位移、弯曲等现象,进而可以使靶材焊接层厚度均匀性变的更好,减少靶材焊接缺陷的产生;由于背板是循环利用的,通过在背板焊接面加工出凸台结构,代替了常规的铺设铜线工作,节省了每次铺设铜线的工作,提高了工作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 结构 背板 以及 焊接 | ||
【主权项】:
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