[实用新型]纯化罐受热保护装置有效
| 申请号： | 201921813948.3 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN211358771U | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 江晓松 | 申请（专利权）人： | 上海先普气体技术有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00 |
| 代理公司： | 上海怡恩专利代理事务所(普通合伙) 31336 | 代理人： | 周渭铭 |
| 地址： | 201108 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了纯化罐受热保护装置，属于半导体技术领域。它包括包括纯化罐本体，所述纯化罐本体包括罐体、环形加热套，所述环形加热套固定套接在罐体四周侧壁上，所述罐体的顶部连通有纯化出气管，所述纯化出气管远离罐体的一端为水平端。本实用新型再生时，当纯化罐本体从常温加热至高温状态时，纯化罐本体受热沿轴向线性膨胀，整个纯化罐本体向下会顶着纯化进气管，向上会顶着纯化出气管，纯化进气管和纯化出气管的应力无法释放，此时将纯化进气管的一端和纯化出气管的一端均设为水平端，当纯化罐本体受热膨胀时，纯化出气管水平端和纯化进气管水平端都可以起到缓冲作用，从而保护纯化罐本体。 | ||
| 搜索关键词： | 纯化 受热 保护装置 | ||
【主权项】：
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