[实用新型]一种多晶硅片电阻率测试装置有效
| 申请号： | 201921813826.4 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN210405225U | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 张达奇;姚铮;陈曦;吴坚;蒋方丹 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号： | H02S50/10 | 分类号： | H02S50/10;G01R27/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅片电阻率测试装置，其包括置物平台、驱动组件、拍摄组件、探针组件和电阻率测试组件，置物平台被配置为承载多晶硅片，驱动组件与置物平台相连，驱动组件能够驱动置物平台沿第一方向及第二方向运动，第一方向和第二方向呈夹角设置，拍摄组件位于置物平台上方，拍摄组件被配置为获取多晶硅片的图像，探针组件可升降地设在置物平台上方，探针组件包括四个探针，四个探针的尖端位于同一直线上，四个探针等距间隔分布且相邻两个探针的之间的间距为0.2mm‑0.4mm，电阻率测试组件与探针组件电连接。该多晶硅电阻率测试装置的测试结果较为准确，能够较为真实地反映硅片电阻率的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅片 电阻率 测试 装置 | ||
【主权项】：
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