[实用新型]一种射频电源整机测试装置有效
| 申请号： | 201921775999.1 | 申请日： | 2019-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN211043624U | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 王国庆 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/40 | 分类号： | G01R31/40 |
| 代理公司： | 北京市科名专利代理事务所(特殊普通合伙) 11468 | 代理人： | 陈朝阳 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体制造技术领域，公开一种射频电源整机测试装置，包括在外壳内安装的电源电路、控制与接口电路及显示和开关组单元，其特征是，所述控制与接口电路（5）分别电连接电源电路（1）、显示和开关组单元（2），所述显示和开关组单元（2）分别电连接有功率值显示屏（3）和设定电压值显示屏（4），所述控制与接口电路通过25芯模拟接口连接有射频电源设备，所述控制与接口电路还通过接线端子（6）连接假负载的监测线，所述接线端子用于监视和细调射频电源的输出功率；所述显示和开关组单元（2）分别电连接转换开关、控制旋钮W和指示灯。具备工作稳定、操作简单、直观易懂、便携方便、耗电小、成本低等诸多优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 电源 整机 测试 装置 | ||
【主权项】：
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