[实用新型]一种石墨热场改造的新型石墨坩埚

摘要

本实用新型公开了一种石墨热场改造的新型石墨坩埚，包括加工炉、碳碳坩埚、石英坩埚和中空钢管，所述加工炉的内部固定有隔板，所述隔板的上方固定有支架，所述支架的上端放置碳碳坩埚，所述碳碳坩埚的内侧放置有石英坩埚，所述加工炉的上方卡接有炉盖，所述炉盖内侧的中心点贯穿固定有套管，所述套管的内侧套接有中空钢管，所述中空钢管底端的一侧焊接有第一气管，所述中空钢管底端的另一侧焊接有第二气管，所述中空钢管的顶端通过输气管与空压机固定连接。本实用新型通过设置碳碳坩埚、石英坩埚、空压机、中空钢管、第一气管、第二气管，解决了石墨坩埚的产能低，空间小、成本高和坩埚工作时需要频繁的开炉清灰的问题。