[实用新型]一种高真空动密封复合运动馈入装置有效
| 申请号： | 201921761332.6 | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN210600185U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 李赟 | 申请（专利权）人： | 西安中科英威特光电技术有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/43 | 分类号： | F16J15/43;F16J15/54;F16J15/16 |
| 代理公司： | 北京棘龙知识产权代理有限公司 11740 | 代理人： | 戴丽伟 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市高新区细*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型属于真空动密封技术领域，具体为一种高真空动密封复合运动馈入装置。本装置主要包括磁流体、波纹管组件、导轨滑块组件及支撑部分。导轨组件设于磁流体与波纹管组件外侧，磁流体密封设于波纹管组件顶部，真空法兰接口设于波纹管组件底部一侧。磁流体输入轴与外部旋转电机连接，旋转电机工作驱动磁流体密封实现旋转运动馈入真空；通过外部驱动电机驱动滑块在导轨上实现直线往复运动，滑块与波纹管组件固定连接实现直线运动的馈入。波纹管组件顶部连接法兰与磁流体密封法兰密封连接，底部法兰与真空接口法兰密封连接，密封均采用无氧铜密封圈进行密封，确保了装置工作时真空度的条件下，可将直线+旋转的复合运动馈入真空系统内部。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 密封 复合 运动 装置 | ||
【主权项】：
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