[实用新型]一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体

摘要

本实用新型公开了一种便于组装的直流磁控溅射电源壳体，包括主体、前面板和侧插板，所述主体与前面板的侧壁固定焊接，其远离侧插板的一侧开有贯穿其顶壁的散热槽，其内腔中设有电动伸缩杆和封闭板，所述封闭板的底壁安装有温度传感器，所述主体上还设有PLC板，所述温度传感器和电动伸缩杆均与PLC板电性连接，所述主体远离前面板的一侧固定焊接有两组与之内腔相通的套管。该便于组装的直流磁控溅射电源壳体，通过设置了伸缩槽、弹簧、回弹块和通孔，通过使两组回弹块分别收缩进两组伸缩槽内，即可使其与两组通孔分离，进而将防护圈从套管上取下，从而方便地清理风机和金属滤网上的灰尘，使清理灰尘的操作简单且效果更好。