[实用新型]一种新型等离子清洗机控制装置有效
| 申请号： | 201921747994.8 | 申请日： | 2019-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN210701514U | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 张春辉 | 申请（专利权）人： | 江苏胜辉半导体设备有限公司;张春辉 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 11514 | 代理人： | 占丽君 |
| 地址： | 221000 江苏省徐州市经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型属于属于离子清洗机技术领域，具体涉及一种新型等离子清洗机控制装置，包括操作控制卡、流道控制卡、压力流量读取模块、偏压控制卡、电源控制卡、变频器和主控制器；所述操作控制卡、流道控制卡、偏压控制卡、电源控制卡、压力流量读取模块、变频控制模块分别与主控制器电连接。本实用新型不仅能够对等离子清洁的整个过程进行自动控制，且控制结构简单、易于生产、成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 等离子 清洗 控制 装置 | ||
【主权项】：
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