[实用新型]一种蓝宝石衬底清洗用快速旋干喷淋装置有效
| 申请号： | 201921702424.7 | 申请日： | 2019-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN210349791U | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 王乐浩;刘鹏;付星星;张海旭;孙帅;刘坚 | 申请（专利权）人： | 江苏澳洋顺昌集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 温福雪 |
| 地址： | 223001*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种蓝宝石衬底清洗用快速旋干喷淋装置，包括旋转载台、旋干机外壁、旋干腔体，旋干腔体以旋转载台的圆心为中心布置，旋干腔体内设有晶舟盒，晶舟盒内由上至下设有晶圆，旋干腔体内设有用于限位晶圆位置的固定柱；还包括设置在旋转载台上的喷淋柱，喷淋柱上设有除静电头和喷头二，喷淋柱安装在旋干腔体内，位于固定柱两侧，喷淋柱的底端接有管路，连通管路的一端与气源、溶液源和除静电发生器连接，喷淋柱表面面向晶圆方向设有除静电头和若干喷头二，除静电头位于喷淋柱中间，喷头二等间距排列在表面，喷淋柱的安装高度应高于固定杆的高度。该装置有利于蓝宝石衬底表面的充分清洁烘干，干燥更快节省时间，提高了工作效率与产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 衬底 清洗 快速 喷淋 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏澳洋顺昌集成电路股份有限公司，未经江苏澳洋顺昌集成电路股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921702424.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
