[实用新型]一种便于真空密封圈更换的保持架法兰结构

摘要

本实用新型公开了一种便于真空密封圈更换的保持架法兰结构，包括真空室法兰、保持架法兰、门法兰、夹取块、挂件组件、密封圈；所述真空室法兰上端设有用于安装挂件组件的安装定位槽；所述保持架法兰上部设有一个以上的安装孔，与安装孔数量对应的挂件组件固定于安装孔内，所述挂件组件包括销柱、垫片和螺钉；所述保持架法兰顶部正中安装有夹取块；所述保持架法兰两侧均设有密封槽，密封圈置于密封槽内。本实用新型将密封圈安装在保持架法兰上，无需单独更换胶圈，可对保持架法兰进行整体更换。而且本实用新型在保持架法兰上设有夹持块，方便机械手远程操作。