[实用新型]一种氮化镓微米线阵列光电探测器

摘要

本实用新型公开了一种氮化镓微米线阵列光电探测器，该光电探测器包括：硅衬底、甲基氨基碘化铅层和电极；所述硅衬底的上表面形成有多个平行排列的凹槽；所述硅衬底的上表面的凸起部的表面覆盖有绝缘层；所述凹槽的两个内侧壁上分别外延生长有氮化镓微米线，所述氮化镓微米线的延伸方向与所述凹槽的延伸方向相同，所述氮化镓微米线形成平行的微米线阵列；所述电极设置在所述硅衬底的上表面，所述甲基氨基碘化铅层涂覆在所述硅衬底的上表面以覆盖所述电极以及氮化镓微米线进而形成双异质结。该光电探测器的暗电流低、响应速度快、开/关电流比高以及探测范围长，综合性能好，并且器件结构简单，易于制造。