[实用新型]一种特殊的喷淋蚀刻机有效
申请号: | 201921610556.7 | 申请日: | 2019-09-25 |
公开(公告)号: | CN210765517U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 沈慕禹 | 申请(专利权)人: | 绍兴华立电子有限公司 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08;C23F1/46 |
代理公司: | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人: | 陆永强 |
地址: | 312000 浙江省绍兴市袍江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种特殊的喷淋蚀刻机,属于喷淋式蚀刻机技术领域;该特殊的喷淋蚀刻机,包括底座、壳体、传送机构、金属板、支撑板、加药罐、调节装置、出药管、加热丝、喷淋嘴和回收管,通过在加药罐内设置过滤网,使得回收后的蚀刻液能够充分利用,通过驱动电机、凸轮、滑杆、转动块、活动杆、调节杆、缓冲弹簧、弧形槽、滑块及过滤网之间的配合,驱动电机带动凸轮转动,从而带动滑杆绕凸轮转动,通过转动块与活动杆的配合将其转化为上下运动,使得活动杆带动调节杆上下移动,通过缓冲弹簧在底部的缓冲提供的晃动使得过滤网的右侧绕左侧活动销轴转动一定的角度,避免过滤网表面的残渣堆积造成过滤网的堵塞。 | ||
搜索关键词: | 一种 特殊 喷淋 蚀刻 | ||
【主权项】:
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