[实用新型]一种晶圆切割机料框夹持装置及晶圆切割机有效
| 申请号： | 201921603532.9 | 申请日： | 2019-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN211662379U | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 路崧;王瑾;曹锋;刘育明;李剑锋;周成全;刘正锋;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/04 |
| 代理公司： | 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 | 代理人： | 阳开亮 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶圆切割机料框夹持装置，包括安装座、料框和压紧组件；安装座设置有至少两个，安装座用于与晶圆切割机的真空陶瓷吸盘同步旋转；料框放置在安装座上，料框用于环设于真空陶瓷吸盘，与真空陶瓷吸盘的陶瓷面配合以水平放置晶圆；压紧组件包括夹紧件、驱动件和调节件；驱动件固定在安装座上；夹紧件连接在驱动件的输出轴上，并能够在驱动件的驱动下旋转远离或靠近在料框的放置晶圆的侧面，调节件的一端抵触在夹紧件朝向料框的侧面，调节件的另外一端转动连接在安装座或驱动件上，本实用新型还提供了一种晶圆切割机，用于调节夹紧件与料框接触的间距，使晶圆夹紧在料框更加稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割机 夹持 装置 | ||
【主权项】：
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