[实用新型]一种异形面曝光装置有效
| 申请号： | 201921588249.3 | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN210323767U | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 吴景舟;陈亮;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 钧迪智能装备科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531 | 代理人： | 李宏伟 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市吴中区木渎镇金山南路868号*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种异形面曝光装置，包括机座，机座上设置有工作平台，工作平台上沿X方向滑动安装有X滑座，X滑座上设置有至少一个固定座，工作平台和X滑座之间安装有驱动X滑座滑动的X动力装置，固定座的上表面与工件的下表面形状适配，固定座上设置有负压吸附孔，负压吸附孔与负压系统连通，固定座上设置有粗定位装置，工作平台上设置有安装架，安装架上沿Y方向滑动安装有由Y动力装置驱动的Y滑座，Y滑座上安装有由调焦动力装置驱动在Z方向调焦的曝光头组件，Y滑座上安装有精定位检测相机。该曝光装置可以主动调节曝光头组件的焦距以实现异形面的直接激光成像，图像解析度更高，曝光效率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 异形 曝光 装置 | ||
【主权项】：
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