[实用新型]一种喷嘴及清洗装置有效
| 申请号： | 201921550371.1 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN210646885U | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 詹扬;倪尧 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B05B1/16 | 分类号： | B05B1/16;B08B3/02 |
| 代理公司： | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人： | 汤陈龙 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种喷嘴及清洗装置，所述喷嘴用于清洗目标清洗物，包括内管，所述内管具有第一管口和第一接口，所述内管中具有位于所述第一管口和所述第一接口之间的第一通道，第一接口位于第一通道的端部；套设于所述内管外侧的外管，所述外管中具有位于所述外管的内壁和所述内管的外壁之间的第二通道，所述外管具有第二管口，所述第二管口设置于第二通道的端部，所述第二管口沿所述外管的轴向凸出于所述第一管口，所述第二管口与所述第一通道和所述第二通道相通，所述第二管口的边缘用于与目标清洗物接触，实现了对目标清洗物特定区域的清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷嘴 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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