[实用新型]表面除尘设备

摘要

本实用新型提供了一种表面除尘设备，包括传动机构、除尘辊组机构和升降机构，传动机构用于带动基片的移动；除尘辊组机构包括分别位于传动机构的相对两侧的两个粘尘组件；每一粘尘组件均包括至少两个胶轮组；升降机构包括驱动胶轮组升降的若干升降件，升降件驱动位于同侧的胶轮组依次间隔与基片相抵接。本实用新型提供的表面除尘设备，通过两侧的粘尘组件同时对基板的两侧面进行吸附，达到较好的除尘效果，升降机构带动基片上侧或下侧的胶轮组依次间隔的与基片相接触，达到延长胶轮组单次寿命的目的，延长整个表面除尘设备的使用时间，避免停机时间过于频繁。