[实用新型]一种磁致伸缩式线位移传感器校准装置

摘要

本实用新型公开了一种磁致伸缩式线位移传感器校准装置，它包括机架、精密滚珠丝杆组件、组合滑台、下V形座、上V形座、固定框、快速把手、磁环磁球安装座、1#延长连接板、激光干涉仪、上位机。上位机根据被校线位移传感器的量程结合相关校准规范控制精密滚珠丝杆组件直线运动；下V形座安装在具有多维运动的组合滑台上方，被校传感器放置在下V形座、上V形座并用快速把手锁紧；调整组合滑台四维方向位置，使得激光干涉仪的光轴在被校传感器测量轴的延长线上；激光干涉仪实时测量精密滚珠丝杆组件上的滑块位移与被校移传感器位移进行比较形成校准结果。本实用新型遵循阿贝原则，具有精度高、效率高、智能化、易搬运、便安装等特点。