[实用新型]自动喷淋清洗装置

摘要

本实用新型涉及半导体晶片清洗技术领域，涉及一种自动喷淋清洗装置，包括清洗台，所述清洗台顶面安装支撑固定板，支撑固定板顶面沿长度方向布置滑动导轨，连接板滑动配合连接于所述滑动导轨上；清洗台顶面还安装有气缸，气缸的活塞杆端通过气缸活塞杆固定块与连接板相连接；所述连接板上还设置有喷淋组件，清洗台还设置有清洗槽。本实用新型采用自动化设备进行晶片清洗，完全取代人工，不仅操作简单，还可以将晶片固定架直接放入清洗台中按批次清洗，工作效率高、节省成本；通过在直管周侧开设若干喷水口，在喷水口安装喷淋头进行喷淋清洗，能够对晶片进行均匀清洗，使晶片上残留物得到彻底清洁。