[实用新型]一种四氯化硅的合成装置

摘要

本实用新型涉及一种四氯化硅的合成装置，硅粉和深冷装置未冷凝的氯化氢在沸腾床反应器中发生反应，反应生产的三氯氢硅和四氯化硅先后进入旋风分离器、布袋除尘器和湿法除尘器进行除尘；三氯氢硅和经湿法除尘后反应产物混合后进入光催化反应器，氯气和氢气从光催化反应器底部充入，三氯氢硅与氯气在光照下充分反应生成四氯化硅和氯化氢，氯气和氢气在光照下反应生成氯化氢；光催化反应产物从光催化反应器顶部采出进入深冷装置；光催化反应产物经深冷装置冷凝冷却后，冷凝液相即为粗品四氯化硅，粗品四氯化硅进入后续精制系统；四氯化硅转化率≥98％。反应器采用外部取热方式，且整个过程无废物产生，绿色环保。