[实用新型]掩模版保护膜的撬膜装置

摘要

本实用新型提供掩模版保护膜的撬膜装置，包括：掩模温控模块，该模块设置于下平台内；膜框冷却模块，位于上盖板上且对应膜框位置，用于对模框降温；掩模版固定装置，分布在掩模版外周圈，用于固定掩模版；连接件，用于连接上盖板与膜框，上盖板开启时，带动膜框、保护膜从掩模版上脱离，本专利申请利用掩模版加热模块对掩模版进行加热，在通过高温将掩模版上的胶融化的同时，并利用液体冷却给于膜框低温特性，增强胶对膜框的粘性，从而使去膜过程中，既降低了胶对掩模铬层带来伤害的风险，也减少了胶粘附在掩模版上的几率。