[实用新型]一种射频线圈位置可调整的射频离子源有效
| 申请号： | 201921361128.5 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN210223933U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 陈晓东 | 申请（专利权）人： | 常州鑫立离子技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J3/04 | 分类号： | H01J3/04 |
| 代理公司： | 常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙) 32325 | 代理人： | 周颖洁 |
| 地址： | 213000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种射频线圈位置可调整的射频离子源，具有绝缘底座、上盖以及保护壳，保护壳上端固定在上盖上，保护壳下端固定在绝缘底座上，绝缘底座上设有进气通道，上盖上设有栅极组件，保护壳内安装有电离腔，电离腔外周套设有射频线圈，射频线圈上固定有高度调节装置，用来调整射频线圈在电离腔外的位置，高度调节装置包括固定组件、支撑柱以及固定螺母，固定组件通过支撑柱，穿过绝缘底座，最后与固定螺母旋紧固定。本实用新型的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种射频线圈位置可调整的射频离子源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 线圈 位置 可调整 离子源 | ||
【主权项】：
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