[实用新型]一种基于光谱共焦的成像检测装置

摘要

本实用新型公开了一种基于光谱共焦的成像检测装置，包括照明组件、成像组件、分色组件和多个图像探测器，照明组件发射具有不同波长的光束，不同波长的光束分别照射在被测物体沿光轴一段深度距离内的不同位置，不同波长的光束在被测物体不同深度表面反射后通过成像组件会聚后进入分色组件；分色组件将会聚后的成像光束分为不同波长的多个光束，每个波长的光束会聚在其对应的图像探测器上成像。本实用新型成像检测装置解决了现有成像检测中分辨率与焦深相互制约的问题，实现了物镜高分辨率下也能得到大景深的高精度测量。