[实用新型]一种具有光纤监测功能的FRAME检查仪

摘要

本实用新型公开了一种具有光纤监测功能的FRAME检查仪，涉及半导体芯片检查仪技术领域，为解决无法对料盒和夹具的位置状态进行检测，当其不在设备上时，设备依然运行存在误操作的问题。所述支撑底板的上方安装有直线模组，所述直线模组前端的一侧安装有限位机构，所述直线模组的一侧安装有电箱，所述电箱的上方安装有显微镜安装座，所述直线模组的一侧设置有料盒架光纤传感器，所述显微镜安装座的一侧设置有夹具光纤传感器，所述直线模组的前端设置有料盒架，所述料盒架的中间位置处设置有料盒架光纤探头槽，所述料盒架光纤探头槽的内部设置有料盒架光纤探头。