[实用新型]一种清洗光罩的装置

摘要

本实用新型涉及光罩技术领域，具体为一种清洗光罩的装置，包括底座，底座的顶部设有清洗室，清洗室的底部中心处竖直开设有第一通孔，清洗室的底部且位于靠近第一通孔的位置由内向外设有若干个第一环形刷，清洗室的顶部设有顶盖，顶盖的底部开设有第二凹槽，第二凹槽的底部中心处设有环形圆柱槽，第二凹槽的底部且位于靠近环形圆柱槽的位置由内向外依次设有若干个第二环形刷。该清洗光罩的装置，通过第一固定盘和第二固定盘可以与光罩起到互相固定的作用，通过第一环形刷和第二环形刷可以将光罩两面同时进行清洗，通过进水接口可以在清洗过程中一直注入干净的纯水，通过设有的出水接口可以将清洗后的水放出，提高了对光罩的清洗效率。