[实用新型]蓝宝石衬底切割片再生加工装置有效
| 申请号： | 201921292642.8 | 申请日： | 2019-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN210633471U | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 徐良;蓝文安;占俊杰;阳明益;刘建哲;余雅俊 | 申请（专利权）人： | 浙江博蓝特半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B49/12;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 董李欣 |
| 地址： | 321000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的一种蓝宝石衬底切割片再生加工装置，涉及半导体技术领域，包括：用于对衬底切割片的单面进行固定的万向平台；研磨砂轮，所述研磨砂轮设置在所述万向平台的上方，用于对所述衬底切割片另一面上具有厚度差异、表面晶体轴向偏轴的部位进行研磨修整。在上述技术方案中，搭配万向平台和研磨砂轮，可以修复切割衬底时由于金刚石线端跳、定角时角度定错等问题而造成的厚度差异过大、表面晶体轴向偏轴的缺陷，使缺陷衬底切割片经过研磨修整后能够重复使用。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 衬底 切割 再生 加工 装置 | ||
【主权项】：
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