[实用新型]一种玻璃基板薄化加工用抛光垫

摘要

一种玻璃基板薄化加工用抛光垫，属于液晶玻璃基板薄化加工技术领域，该抛光垫，包括由上到下依次层叠设置的聚氨酯层、缓冲层和背胶层，所述聚氨酯层通过粘结胶层与缓冲层固定粘结，所述缓冲层底部粘覆所述背胶层，所述聚氨酯层上设置有导液槽，本实用新型的有益效果是，该抛光垫整体结构稳定，通过缓冲层的弹性弥补了抛光垫形貌变化对抛光效果的影响，使其既具有硬质抛光垫的去除率，又具有软质抛光垫的抛光均匀性，减少了人力维护，提升了生产效率，而且导液槽的设计增加了抛光液的流动速度和分布的均匀性，从整体上提高了抛光质量。