[实用新型]一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统有效
| 申请号： | 201921195513.7 | 申请日： | 2019-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN210980946U | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 张勇;孙国标;何於 | 申请（专利权）人： | 江苏壹度科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F28D21/00 | 分类号： | F28D21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体晶盘片冷却设备技术领域，具体为一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统，包括支撑机构，支撑机构包括两个矩形框，两个矩形框左右侧壁之间的顶部均设有第一横杆，第一横杆的下方设有第二横杆，每个矩形框内部中心处设有加固杆，两个加固杆之间设有架杆，第一横杆上靠近两端的位置安装有若干主管道装置，主管道装置之间安装若干辅管道，主管道装置和辅管道上安装有若干固定装置。本实用新型通过支撑机构，用于支撑主管道装置和辅管道，并通过固定装置将主管道装置和辅管道固定在支撑机构上，方便后续冷却使用，另一方面，主管道装置和固定装置可拆卸，为后续维修或保养提供便利，有利于提高市场竞争力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 盘片 专用 纯水 pcw 系统 | ||
【主权项】：
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