[实用新型]一种偏光照射装置及光取向处理设备有效
申请号: | 201921188658.4 | 申请日: | 2019-07-25 |
公开(公告)号: | CN210109529U | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 许凯迪;李运锋 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1337 | 分类号: | G02F1/1337 |
代理公司: | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人: | 王宏婧 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种偏光照射装置及光取向处理设备,所述偏光照射装置包括光源组件,包括在第二方向上延伸的灯管;反射组件,设置在所述光源组件的一侧;位置调节机构,与所述反射组件连接;其中:所述偏光照射装置具有扫描位置和维护位置;当所述光源组件位于所述扫描位置时,所述位置调节机构驱动所述反射组件靠近所述光源组件,以将所述灯管发射的光线反射至所述基板;所述位置调节机构还用于驱动所述反射组件沿第三方向运动以远离所述光源组件,所述第三方向与水平面呈一夹角;所述光源组件和所述反射组件在运动过程中在所述第二方向上的位移始终为零。本实用新型的优点在于,缩小了灯管更换维护所需空间,且降低灯管维护时发生损坏的可能性。 | ||
搜索关键词: | 一种 偏光 照射 装置 取向 处理 设备 | ||
【主权项】:
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