[实用新型]一种蚀刻刀模的显形装置有效
申请号: | 201921148964.5 | 申请日: | 2019-07-19 |
公开(公告)号: | CN210377026U | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
发明(设计)人: | 刘勇;刘礼龙 | 申请(专利权)人: | 珠海市科弥光电有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 519000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种蚀刻刀模的显形装置,包括凸模组件,所述凸模组件包括显形块以及安装在所述显形块内的上药装置,所述上药装置包括可拆卸地安装在所述显形块内的药物框、设置在所述药物框内的喷药板以及设在所述药物框内的导向轨,所述喷药板可滑动地套设在所述导向轨上,所述喷药板上开有和所述蚀刻刀模对应的喷药开口,所述喷药板的侧面上连通有进药管道,所述进药管道上可拆卸的螺纹连接有输药管,所述输药管透过所述药物框连通至存储显形药水的存储装置中,利用输药管和喷药板之间的螺纹连接,在输入显形药水的同时,可控制喷药板沿导向轨移动,使得喷淋和刷平两个过程同步进行。 | ||
搜索关键词: | 一种 蚀刻 显形 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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