[实用新型]一种陶瓷真空镀铜舱室内置坩埚有效
| 申请号： | 201921115254.2 | 申请日： | 2019-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN210458344U | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 乔利杰;宋述兵;杨会生;庞晓露;王瑞俊;郑宝林 | 申请（专利权）人： | 山东司莱美克新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 255000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种陶瓷真空镀铜舱室内置坩埚，包括底座，及固定于底座上的坩埚支座；所述坩埚支座上固定有坩埚加热套；所述坩埚加热套内侧安装有坩埚；所述坩埚支座顶面固定有工字形的外套筒；所述外套筒设置于坩埚加热套外部；所述坩埚加热套顶部设置有扩径喉口；所述扩径喉口设置于外套筒内侧；所述外套筒顶部固定有加热端盖；所述加热端盖顶部设置有镀膜口；所述扩径喉口底部内径与坩埚顶部内径一致；本实用新型的陶瓷真空镀铜舱室内置坩埚，采用坩埚加热及加热端盖加热，能够调节附着温度，同时通过扩径喉口进行缓存；提高铜气排出稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 真空 镀铜 舱室 内置 坩埚 | ||
【主权项】：
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